Өндүрүүчүнүн жакшы баасы SILANE (A1160) 3-UREIDOPROPYLTRIETHOXYSILANE 50% SOLUTION IN METHANOL CAS: 7803-62-5
Тиркемелер
Силан, SiH4 – абада өзүнөн-өзү күйүүчү жана суу менен жай ажыроочу түссүз газ;суулуу щелочтун катышуусунда толугу менен гидролизденип, суутек жана силикаттарды пайда кылат.Ал коммерциялык масштабда чыгарылып, баллондордо кысылган газ катары сатылат.Силан, таза же кошулмаланган, жарым өткөргүч кремнийди даярдоо үчүн >600 °C температурада термикалык ажыроо жолу менен колдонулат.Электрондук өнөр жайы үчүн жарым өткөргүч кремнийди эпитаксиалдык өстүрүүдө силанга өтө төмөн концентрацияларда герман, арсин же диборан сыяктуу газ түрүндөгү кошумча заттар кошулушу мүмкүн.Жогорку силандар, мисалы, Si2H6 жана Si3H8 белгилүү, бирок SiH4ке караганда туруктуу эмес.Бул азыраак каныккан углеводороддордун аналогдору.
2. Жарым өткөргүчтөр үчүн гипер таза кремнийдин булагы.
3. Катуу дене түзүлүштөрүн допингдөө үчүн жана электрондук өнөр жайы үчүн жарым өткөргүч кремнийди даярдоо үчүн колдонулат.
Спецификация
Курама | Спецификация |
Көрүнүш | Түссүз ачык сары тунук суюктук |
Тыгыздыгы (20℃) г/см3 | 0,920±0,01 |
Сынуу (n25D) | 1,3900±0,005 |
Илешкектүүлүк (CPS) | 4,0-6,0 |
Аш | 11,0%-13,0% |
Таңгактоо
180 кг / барабан
Сактоо салкын, кургак жана желдетилүүчү жерде болушу керек.